주차

주제

단원

소주제

과제

1

나노공정 소개

(Introduction to nanofabrication)

1-1

나노공정의 전반적인 소개

(General introduction to nanofabrication)

퀴즈

1-2

나노공정에 대한 소개

(탑다운 공정)

(Introduction to top-down nanofabrication)

퀴즈

1-3

나노공정에 대한 소개

(바텀업 공정)

(Introduction to bottom-up nanofabrication)

퀴즈

2

나노공정 기초 (1)

(Basis of nanofabrication(1))

2-1

포토리소그래피

(Photolithography)

퀴즈

2-2

포토리소그래피 심화

(Advanced techniques of photolithography)

퀴즈

2-3

박막증착 (화학증착법)

(Chemical deposition)

퀴즈

3

나노공정 기초 (2)

(Basis of nanofabrication(2))

3-1

박막증착 (물리증착법)

(Physical deposition)

퀴즈

3-2

에칭 (습식 식각)

(Wet etching)

퀴즈

3-3

에칭 (건식 식각)

(Dry etching)

퀴즈

4

나노공정 (Top-down)

(Top-down nanofabrication)

4-1

전자빔 리소그래피

(Electon-beam lithography)

퀴즈

4-2

전자빔 리소그래피 심화

(Advanced techniques of electron-beam lithography)

퀴즈

4-3

집속이온빔 밀링

(Focused ion-beam milling)

퀴즈

5

나노공정 (Bottom-up)

(Bottom-up nanofabrication)

5-1

VLS 공정

(Vapor-liquid-solid method)

퀴즈

5-2

자기조립 공정 (나노입자)

(Self assembly: nanoparticle)

퀴즈

5-3

자기조립 공정 (단분자막/DNA)

(Self assembly: monolayer/DNA)

퀴즈

6

나노생산

(Nanomanufacturing)

6-1

간섭 리소그래피

(Interference lithography)

퀴즈

6-2

임프린팅

(Nanoimprint lithography)

퀴즈

6-3

최신 기타 방법
(Advanced nanofabrication)

퀴즈

7

기말고사